在線式真空等離子清洗機基本參數(shù):
| 型號 | 在線式真空等離子清洗機 |
| 處理時間 | 2-3分鐘/循環(huán) |
| 輸入電壓 | 220V±10%（AC）50-60HZ |
| 輸出功率 | 2 * 1KW |
| 輸出電壓 | 8000-12000AC |
| 工作環(huán)境溫度 | -10℃-30℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | 20%-90% |
| 工作頻率 | 40KHz |
| 產(chǎn)能 | 兩層托盤，尺寸定制 |
| 抽真空時間 | ＜40s |
| 真空度 | 5-100pa(可調(diào)) |
| 傳送裝置 | 三段式軌道，上下兩層中轉(zhuǎn)（可根據(jù)需求定制） |
| 真空泵組 | 油泵/干泵+羅茨增壓泵 |
| 可增變冷水機組 | 可選配 |
| 自主研發(fā)控制軟件 | 生產(chǎn)信息統(tǒng)計，MES系統(tǒng)對接、工藝參數(shù)調(diào)節(jié)等功能 |
| 工藝氣體 | 5路工作氣體可選：Ar2/N2/H2/CF4/O2 |
| 氣源 | CDA 0.5MPa- 0.6MPa，氣壓報警裝置 |
| 腔體溫度 | ＜30℃ |
| 有效處理寬幅 | 200mm-2000mm（可定制） |
| 等離子發(fā)生器頻率 | 40KHz/13.56MHz/2.45GHz（選配） |
| 傳動電機 | 86伺服馬達(dá) |
| 噴頭運行方式 | 往復(fù)式 |
| 噴槍火焰長度 | 10mm-30mm |
| 輸入氣壓報警 | 菜單+聲光報警 |
| 射頻電源 | 13.56MHz |
| 溫度檢測裝置 | 設(shè)備加裝有溫度掃描儀，能實時監(jiān)測到 |
在線式真空等離子清洗機產(chǎn)品特點：
在線式真空等離子清洗機可以實現(xiàn)溫度、真空值、反應(yīng)氣體實時檢測；
整機采用PLC微電腦控制系統(tǒng)，無縫對接MES系統(tǒng)；
適合各種形狀產(chǎn)品，通用性高；
合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻；
良好的安全性，多功能安全保護(hù)；可根據(jù)客戶需求定制。
自動進(jìn)出料，可對接原有生產(chǎn)線，實現(xiàn)自動化在線生產(chǎn)；
在線式真空等離子清洗機機器介紹:
反應(yīng)倉
為了滿足快速高效的工業(yè)生產(chǎn),并基于對產(chǎn)品的需求,將等離子反應(yīng)倉設(shè)計為小型長方體,反應(yīng)倉體內(nèi)部尺寸,一方面減少了抽真空和壓力平衡的時間,提高了效率另一方面減少了氣體的消耗,節(jié)約了成本。此外,在倉體側(cè)面開有一可視透明小窗口,可以通過此處檢查氣體放電的情況。
射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng)
射頻等離子產(chǎn)生系統(tǒng)包括射頻電源和射頻匹配網(wǎng)絡(luò),射頻電源是等離子體放電的關(guān)鍵設(shè)備,等離子體反應(yīng)器是利用其提供的能量,生成電子、離子等活性粒子,即等離子體。在電源的參數(shù)選擇方面,工作頻率為,射頻輸出功率為一的可調(diào)區(qū)間,主系統(tǒng)電源電壓為士,外接線路工頻為一,采用三相四線接法
真空系統(tǒng)
低壓等離子放電相對于常壓等離子放電,放電更穩(wěn)定,粒子的自由程更長,等離子的活性更強,溫度更低,對高精密儀器的清洗傷害更小,放電開始前需對反應(yīng)倉體進(jìn)行抽真空,使用真空泵對倉體進(jìn)行抽真空,極限真空度小于或等于,真空泵在清洗物體放入后啟動,并在清洗過程中一直運行,保證倉體內(nèi)壓力穩(wěn)定在一個范圍內(nèi)。
上、下料傳動系統(tǒng)
上下料系統(tǒng)主要由機械手、傳送帶、升降機和滑動導(dǎo)軌組成,在上下料系統(tǒng)中料盒可在豎直方向和水平方向移動。豎直方向移動由升降伺服電機帶動升降平臺實現(xiàn),升降平臺與料盒一起做豎直運動。水平方向移動由水平伺服電機帶動料盒安裝板實現(xiàn),機械手傳送機構(gòu)完成物料的傳送。
